接觸式儀器中，典型代表為表面粗糙度測試儀，其通過觸針與樣品表面的直接接觸來追蹤并測量樣品的表面輪廓。

非接觸式儀器，則包括白光干涉儀和激光掃描顯微鏡，它們利用光學原理進行高精度的測量。

此外，原子力顯微鏡也是一種重要的非接觸式儀器，其分辨率甚至可以達到亞納米級別。

在對比各種儀器的性能時，我們可以發現它們在測量分辨率、高度測量范圍、可測范圍、角度特性以及數據分辨率等方面各有千秋。例如，表面粗糙度測試儀的測量分辨率通常為1納米，而原子力顯微鏡則能達到更小的分辨率。同時，各種儀器在高度測量范圍和可測范圍上也有所不同，需要根據實際需求進行選擇。

另外，值得注意的是，接觸式儀器如表面粗糙度測試儀，其測量過程中觸針與樣品表面的接觸可能會對樣品造成一定程度的損傷。因此，在選擇測量儀器時，需要權衡測量精度與樣品保護的需求。而非接觸式儀器則避免了這一問題，它們通過光學原理進行測量，對樣品無損傷。

總的來說，選擇哪種測量儀器應根據實際需求來定。在了解各種儀器的特點的基礎上，我們可以根據測量任務的具體要求，如精度需求、樣品特性等，來挑選合適的儀器。

在精確測量精致形狀和粗糙度時，選擇合適的接觸式表面粗糙度儀至關重要。為了確保測量結果的準確性，觸針的半徑需要盡可能小，同時接觸壓力也要保持低水平。觸針通常由藍寶石或金剛石制成，其半徑可達10微米或更小。此外，觸針的形狀也至關重要，圓錐形帶有圓珠筆尖的設計常被視為觸控筆的理想選擇。在理想測量儀器中，錐體通常具有60°的錐度。